台灣某國際知名半導體晶圓廠實測,各式精密設備使用奈米鎢(超高精密級系列)潤滑添加劑之後:
[無塵室]
- 黃光曝光機平均異常當機次數下降30%-50%
- 滾珠螺桿震動值平均降低15%
- 伺服馬達工作電流降低5%
[廠務端]
- 風機、泵、馬達震動值平均降低5% -10%不等